激光剥离机

产品特点 1、线形光斑的激光整形技术，实现在不同尺寸加工样品上的剥离操作；
2、气浮式的工作台实现无接触无摩擦的加工形式，避免产生粉尘颗粒，保证装备内部的洁净度；
3、高精度、大尺寸、双工位的stage设计，可有效提高生产效率；
4、panel载台吸附设计。激光设备的物料载台的真空吸附部分，采用了分区域加时间延迟的设计，先吸附中间部分，再逐次往外围吸附，保证带柔性膜的panel可以无皱褶高效吸附。

产品应用

应用范围：柔性显示屏激光剥离。

产品参数

主要参数	加工尺寸	1"-8"
	加工速度	180mm/s
	加工精度	0.1μm
	平台参数	1）移动精度 X 轴： 0.1μm Y 轴： 0.1μm Z 轴： 1μm Theta 轴： 0.2° 2）定位精度 X 轴： ≤±4μm Y 轴： ≤±4μm Z 轴： ≤±5μm Theta 轴： 0.1°
	激光器参数	1）激光器波长： 308nm 2）激光能量： ≥600W 3）激光脉冲功率： 1000mJ 4）总频率： 600 Hz 5）脉冲宽度： 24±4ns 6）脉冲稳定性： ≤1%
	工艺方式	DPSS激光剥离
	制程类型	激光剥离
	Tact time	1":4.5s 8":6s
	稼动率	0.9

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