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光栅振镜方头
光栅振镜方头
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光栅振镜方头

产品特点 1.自主研发高精度光栅编码器,打破国外技术垄断
2.23bit分辨率数字电机实现卓越的定位精度和重复定位精度
3.支持振镜位置监测和位置反馈,实时检测振镜状态,确保振镜安全可靠运行
4.基于FPGA的数字驱动板配置灵活,可以匹配从10-30mm不同负载的振镜电机
5.全数字设计和独特的水冷设计保证极低的漂移和极高的稳定性

产品应用

ExtraScan 数字振镜产品型号覆盖全面,适合于对精度要求高的客户。如3D打印,光伏行业,半导体行业等加工应用。

产品参数

ExtraScan

ExtraScan   10

ExtraScan14

ExtraScan20

ExtraScan30

入口光斑Input Beam Aperture (mm)

10

14

20

30

光柱位移Beam Displacement (mm)

12.54

16.42

25.25

35.53

跟随误差Tracking Error (ms)

0.3

0.40

0.65

1.2

重复精度Repeatability (µrad)

<1

<1

<1

<1

零位漂移Offset Drift (µrad/K)

<15

<15

<15

<15

增益漂移Gain Drift (ppm/K)

<8

<8

<8

<8

8小时以上漂移Long-term drift over 8 hours (mrad)

<0.1

<0.1

<0.1

<0.1

1%全行程1% of full scale (ms)

0.55

0.85

1

1.50

10%全行程10% of full scale (ms)

1.4

1.80

3

5

定位速度Positioning Speed (m/s)

7

5

3

2

扫描角度Typical Scan Angle (°)

±12.5

±12.5

±12.5

±12.5

增益误差Gain Error (mrad)

<5

<5

<5

<5

零位误差Zero Offset (mrad)

<5

<5

<5

<5

非线性度Nonlinearity (%)

<0.1

<0.1

<0.1

<0.1

电源要求 Power Requirements

±15VDC, ≥3A

±15VDC, ≥3A

±15VDC, ≥3A

±15VDC, ≥3A

数字接口 Digital Interface

XY2-100

XY2-100

XY2-100

XY2-100

工作温度Operation Temperature (℃)

25±10

25±10

25±10

25±10

重量Weight (kg)

1.9

2.3

5.0

5.2


ExtraScan

ExtraScan   II 10

ExtraScan II 14

ExtraScan   II 20

ExtraScan   II 30

入口光斑Input Beam Aperture (mm)

10

14

20

30

光柱位移Beam Displacement (mm)

12.54

16.42

25.25

35.53

跟随误差Tracking Error (ms)

0.2

0.25

0.5

0.80

重复精度Repeatability (µrad)

<1

<1

<1

<1

零位漂移Offset Drift (µrad/K)

<15

<15

<15

<15

增益漂移Gain Drift (ppm/K)

<8

<8

<8

<8

8小时以上漂移Long-term drift over 8 hours (mrad)

<0.08

<0.08

<0.08

<0.08

1%全行程1% of full scale (ms)

0.45

0.6

0.85

1.30

10%全行程10% of full scale (ms)

1.30

1.50

2.60

4.80

定位速度Positioning Speed (m/s)

10.0

7.0

5.0

3.0

扫描角度Typical Scan Angle (°)

±12.5

±12.5

±12.5

±12.5

增益误差Gain Error (mrad)

<5

<5

<5

<5

零位误差Zero Offset (mrad)

<5

<5

<5

<5

非线性度Nonlinearity (%)

<0.1

<0.1

<0.1

<0.1

电源要求 Power Requirements

±15VDC, ≥3A

±15VDC, ≥3A

±15VDC, ≥3A

±15VDC, ≥3A

数字接口 Digital Interface

XY2-100

XY2-100

XY2-100

XY2-100

工作温度Operation Temperature (℃)

25±10

25±10

25±10

25±10

重量Weight (kg)

1.9

2.3

5.0

5.2


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